g线光刻胶分辨率高还是i线高 - 深圳市微电子有限公司

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G线和i线光刻胶，分辨率到底谁更强
在半导体光刻工艺的日常讨论中，一个经常被提起的疑问是：g线光刻胶和i线光刻胶，哪个分辨率更高？这个问题看似简单，却容易让人陷入直觉判断的误区。许多刚接触光刻工艺的工程师，甚至一些资深从业者，都会下意识...

2026-05-14