英寸碳化硅衬底参数 - 深圳市微电子有限公司

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英寸级碳化硅衬底：揭秘其参数与工艺**
在半导体行业，碳化硅（SiC）衬底因其优异的性能，正逐渐成为替代传统硅衬底的新宠。相较于硅，碳化硅具有更高的击穿电场、更低的导热系数和更高的热稳定性，这使得它成为制造高性能功率器件的理想材料。

2026-05-19